1.最大载荷控制:500mN、最小载荷控制10uN；
2.最大位移：20um；
3.室温热漂移0.01nm/s；
4.划痕速率范围1um/s -100um/s、最大划痕长度10mm、最大划痕深度15um、最大划痕法向载荷500mN；
5.最高温度1000℃；配有涡轮分子泵，最高可实现10-5mbar真空度

极端环境微纳米力学测试系统可以在常规和真空高温环境下完成微/纳米尺度上材料力学性能测试和表征，用于产品的研究和开发。可以定量表征混凝土、岩石、金属材料和复合材料等的纳米压痕、纳米划痕、力性成像等，获得相关条件下的硬度、模量、蠕变、耐高温等性能。

仪器主机；压痕/划痕测试模块；三维扫描探针成像；高温模块；超高温真空测试腔