1、TEM点分辨率：0.23 nm@200 kV；信息分辨率：≤0.12 nm@200 kV；
2、STEM分辨率：明场分辨率：≤0.16 nm（200 kV）；暗场分辨率：≤0.16 nm（200kV）；HAADF分辨率：≤0.16 nm（200kV）
3、背散射电子分辨率：≤1.0 nm（200kV）；
4、X射线能谱分析仪：能量分辨率：优于133 eV。

JEM-F200透射电镜主要用于材料的高分辨形貌观察和微区的晶体结构分析。搭载有场发射电子枪，能够达到更高的分辨率。自动化测角台，能够实现自动进出样品杆。配备有双探头超级能谱仪，能够实现快速高精度的EDS分析，搭配STEM模式，可以进行点、线、面的EDS Mapping分析。搭载有Gatan底插Oneview相机，能够拍摄更加清晰的高分辨图像。

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