1、二次电子分辨率： ≤0.7 nm @15 kV，≤1.1 nm @1 kV/500 V ；
2、背散射电子分辨率：1.2 nm @1 kV；
3、加速电压：20 V-30 kV

GeminiSEM 460高分辨场发射扫描电子显微镜采用成熟的Gemini光学系统设计，分辨率达到0.7nm。独特的镜筒设计可以帮助用户方便、安全的测试纳米磁性材料，环形Inlens探测器结合电子束加速器，可以不采用减速模式，有效提高低电压下图像的分辨率和信噪比。整体铸造的大尺寸腔室结构，可以满足不同领域的分析需求。

1、EDAX能谱仪及EBSD系统：①EDS探测器为SiN4新型SDD探测器窗口，有效活区面积≥70mm²；分析元素范围Be4-Am95；能量分辨率（Mn-Kα）优于127eV，低能端分辨率优异，Al Lα-Al Kα峰比率1:1；0-200kcps范围内分辨率稳定性＞90%。②EBSD最佳扫描及解析速率优于4500点/秒，取向精度测量优于0.1度；三条带指标化算法及CI因子评价系统；配置粗糙花样再标定算法如词典算法、NPAR、球形标定等，利用相邻点再次标定，提高原始标定率。
2、Femto-Tools原位纳米压痕：①可进行室温-800℃的拉伸、压缩、弯曲、疲劳、蠕变、应力松弛、动态机械测试（DMA）、连续刚度法纳米压痕、快速纳米压痕成像等测试；②可用于原位压缩、疲劳、动态力学分析、纳米压痕、快速CSM、原位高温力学等测试；