1、分辨率（二次电子像）：高真空模式：0.7 nm@15 kV,0.9 nm@1 kV、低真空模式（30 Pa）：1.2 nm@15 kV；
2、放大倍率：30-1000000倍；
3、加速电压：200 V-30 kV、着陆电压：20 V-30 keV；电子束流1pA-50nA，连续可调；
4、探测器：普通二次电子探测器（ETD）、镜筒内低位高灵敏度BSE探测器（T1）、镜筒内中位二次电子探测器（T2）、镜筒内高位低能量电子探测器（T3)、极靴下自动伸缩式角度选择8分割BSE探测器（ABS/CBS);
5、分析模式：3种分析模式。

Thermo Scientific Apreo2S SEM具有多功能性和高质量成像性能，采用了创新性的末级透镜设计，引入静电式末级透镜，支持镜筒内高分辨率检测。

1、牛津UltimMax100EDS及SymmetryS3EBSD分析系统：①EDS分辨率优于127eV(MnKα处）、元素分析范围Be4-Cf98、高分子超薄窗，100mm²有效面积；②EBSD在线最高标定解析速率优于4500点/秒、最小工作电流100pA、最小工作电压5kV。
2、Kammrath Weiss GmbH高温原位拉伸台：①配备5kN拉伸/压缩台及500N传感器，最大载荷5kN，力分辨率1N，拉伸速度0.1μm/s-20μm/s，位移分辨率0.1μm，最大行程45mm；②1200℃加热附件，温度稳定性1℃；③EBSD测试附件；④典型试验尺寸50-60mm，最大宽度10mm，最大厚度5mm；⑤配备夹具包括3点弯曲夹具、棒状试样夹具、薄膜试样夹具、微型T状拉伸夹具。