1.二次电子分辨率：1.0 nm @ 15 kV；1.5 nm @ 1 kV；
2.加速电压范围：20 V～30 kV ；
3.放大倍数范围：1x～2,500,000x（1～16x为光学放大）
4.镜筒内减速模式（BD）：镜筒中由高压管保持 正电势，使电子在镜筒内保持高速运动，提升低电 压分辨能力；

SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。先进的镜筒设计，高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快速上手，完成高分辨率拍摄任务。

设备主机：标准样品仓，标配五轴样品台的场发射扫描电镜