"1、最高电压脉冲频率：500 kHz；
2、最高激光脉冲频率：400 kHz；
3、紫外(UV)激光波长：257.5 nm；最细焦斑：< 3 µm；
4、最大数据收集速率＞4M ions/min；
5、TOF质谱仪，离子飞行轨迹长度382 mm；
6、质量分辨率：FWHM，1:1000；FWTM，1:475；FW1%M，1:275；
7、理想状态下，可获得最大视场250 nm。"

作为国内首台安装的最新型号LEAP 6000 XR三维原子探针，该设备最新使用了深紫外激光光源 （Deep UV），并实现同时向样品施加激光脉冲和电压脉冲，以近原子尺度的分辨率给出材料内部的三维成分信息。可对各种单质或化合物材料的样品表面、晶界、相界等复杂结构进行不同元素的原子级别分析，重构出纳米空间内不同元素的三维分布图像，并给出精准的元素空间含量分析。

仪器主机、配备专用的三维可视化数据重构软件IVAS