电子光学系统主要技术指标：
1、探测器：二次电子探测器，背散射探测器
2、二次电子像分辨率：≤2.5nm (30kV, 110-11 A, 工作距离11mm)
3、束斑尺寸：≤20nm (10kV, 10-8 A, 工作距离11mm) ≤50nm (10kV, 10-7 A, 工作距离11mm)
4、空间分辨率：优于0.1μm
波谱系统主要技术指标：
1、分析元素范围：5B - 92U
2、分析精度：好于1%(主元素, 含量＞5%)，5%(次要元素, 含量～1%)
3、谱仪道数：5道波谱仪

电子探针(EPMA)能够对微小区域（微米级范围）所含元素进行定性或定量分析，同时还可获得样品的显微形貌信息，实现了微区化学成份与显微结构的精确对应。

牛津15mm2能谱仪